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クリーン工場・精密級空調装置
クリーン工場・クリーンルームとは
クリーンの意味
空気中には0.5ミクロン以上の浮遊している塵埃が１立方フィート中に100万個〜500万個も含まれています。その塵埃のなかには有害なもの細菌、花粉、繊維質、などが多く都会では特に多い。新鮮空気必ずしも綺麗であるとは限りません。これに対処する必要が有ります。
IC工場、厨房など塵埃があったら困るのでクリーンにしなければなりません。下図は必要クリーン度の一覧を示す。
＜製造・工事関連＞
分類 |
対象 |
クリーン（清浄）度 |
備考 |
半導体工場 |
結晶精製 |
1,000〜10,000 |
超精密加工、塵埃付着防止、カビの発生防止による製品の品質確保と向上 |
ウエハー製造 |
10〜10,000 |
ウエハー表面処理 |
10〜1,000 |
フォトリングラフィー |
10〜100 |
チップ製造 |
10〜1,000 |
組立、検査 |
100〜100,000 |
半製品保管 |
10,000〜100,000 |
塵埃付着防止、カビの発生防止による品質確保 |
電子産業 |
磁気ドラム、磁気テープ |
100〜1,000 |
加工、製造工程での塵埃付着防止、による製品の品質確保と向上 |
シャドーマスク |
100〜10,000 |
高信頼管 |
100〜1,000 |
液晶工場 |
1,000〜100,000 |
塵埃による電極欠損、汚れの防止 |
精密測定機器 |
1,000〜100,000 |
塵埃、菌、カビの防止による品質の確保と向上 |
精密機械 |
ミニチュアベアリング |
100〜1,000 |
塵埃混入付着による品質の劣化防止 |
時計、計器 |
1,000〜100,000 |
高信頼度部品、装置 |
100〜100,000 |
光学印刷 |
レンズ（研磨,貼り合せ） |
100〜10,000 |
塵埃混入付着による品質の劣化防止 |
フィルム、プリント板 |
100〜10,000 |
LSIマスク |
10〜100 |
超精密印刷 |
100〜10,000 |
塵埃、菌カビによる品質の確保と防止 |
宇宙産業他 |
ジャイロスコープ |
100〜1,000 |
塵埃、菌、カビによる事故防止。宇宙の汚染防止 |
人工衛星用部品 |
1,000〜10,000 |
レーザー発生器 |
10〜1,000 |
塵埃混入付着による品質の劣化防止 |
包装材料。容器 |
100〜100,000 |
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分類 |
種類 |
清浄度（粒径0.5μ） |
備考 |
農産加工品 |
スナックライス
（あられ、せんべい） |
10,000〜50,000 |
味付け、計量，包装工程が対象 |
包装豆腐 |
10,000 |
連続プレス、冷却器、自動充填シールが対象。土壌菌の混入に配慮要す。充填後の加熱（85℃、20分では細菌胞子は生存する。 |
もち |
10,000〜50,000 |
トレミングカット工程、包装室が対象 |
野菜煮物類 |
10,000 |
煮熱（2重釜）、真空冷却、真空包装機が対象、包装後の殺菌（85℃〜90℃、15分〜25分）では細菌胞子は生存するので低温保管要す。 |
サラダ |
10,000〜50,000 |
野菜は切断機から包装まで、馬鈴薯のピーラーは煮熱後の冷却から包装までの工程
包装室の適温18℃〜20℃ |
麺類 |
簡易包装麺 |
10,000 |
冷却、含気包装工程が対象。 |
調味食品 |
ケチャップ（ボトル詰） |
10,000 |
自動定量充填機、アルミシール機、オートキャッパーが対象 |
マヨネーズ（ボトル詰） |
10,000 |
真空ホモゲナイザー、自動定量包装機までが対象。 |
味噌（包装味噌） |
10,000〜50,000 |
こうじ室仕込み撹拌室、熟成室仕込容器、みそこし機、自動定量包装機までが対象 |
クリーン度・・・・単位 1立方インチに含まれる0.5ミクロン以上の塵埃の数
クリーン工場・精密級空調装置
IC検査工程クリーン工場・・・・クラス3,000達成（クリーン工場の項参照）
精密級空調機
室温25℃＋−１℃に制御
5μ塵埃99.9％除去HEPAフィルター内臓
湿度を60％以下に保つ
外気処理ユニット
塵埃の多い外気を2重のフィルタを通しの塵埃を除去し、なおかつ出入り口、窓などの隙間より塵埃の多い外気の進入を防ぐ為工場内を陽圧に保つ
加湿装置
工場内を50％以上に保つ・・ただし加湿は水の不純物を除去する為水蒸気使用 |
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空調・換気
業務用空調
実績一覧